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      1. 努美科技
        010-62029100

        主動隔振平臺STACIS IIIc

        名稱: 主動隔振平臺STACIS IIIc

        型號: STACIS IIIc

        品牌: TMC

        • 詳細信息

        概述

        STACIS IIIc是STACIS III**主動隔振系統的緊湊型版本。它在減小的高度下提供了同樣出色的隔振性能。

        STACIS IIIc非常適合在沒有或地板很低的活動地板上使用,因為標準STACIS III系統的高度會使儀器過高。

        在三隔離器配置中,隔離器高度小于常規STACIS III高度的60%。在具有3個以上隔離器的系統中,高度將在60%到70%之間,具體取決于有效負載設置。有關詳細信息,請參見下面的規格。

         

         

        STACIS IIIc優勢

        與常規STACIS III系統相比,隔離器高度**多降低42%,而性能卻沒有降低。

        STACIS比空氣隔振器堅固數百倍,沒有任何空氣隔振系統的局限性。它沒有“軟”懸架,與主動空氣系統不同,STACIS可以放置在帶有內部主動空氣隔振系統的工具下方,使兩個系統都在**狀態下運行。

        獨特的串行設計和專有的高力壓電技術 

        可實現0.6 Hz至150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90%的**主動隔振性能。
         

        性能


        4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C 
        (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

         

        性能規格

        規格

        主動自由度 6
        主動帶寬 0.6 Hz - 150 Hz
        被動固有頻率 18 Hz垂直和水平
        有效的主動共振頻率 0.5 Hz
        1 Hz時的隔振 40% - 70%
        ≥2 Hz時的隔振 ≥90%
        10磅(4.5千克)步進輸入后的穩定時間
        (減少10:1)
        0.3秒
        內部噪音 <0.1 nm RMSd>
        每個隔振器的工作負載范圍 低承重能力:400 - 1100磅(181 - 499千克)
        中等承重能力:900 - 2100磅(408 - 953千克)
        高承重能力:1900 - 4500磅(862 - 2041千克)
        剛度(1000磅/454千克質量、中等承重能力隔振器) 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)
        從距離隔振器**4英寸(102毫米)處發射的磁場 <0.02 μG broadband RMSd>

         

        隔振器設計、尺寸、環境和效用要求

        環境和安全 符合CE和RoHS標準
        主動隔振元件 **小承重能力為3300磅(1500千克)的壓電致動器接收來自高壓放大器的信號,其輸出高達800 VDC。垂直執行器支撐隔振的有效載荷
        被動隔振元件 單個硬質各向同性彈性體(無需壓縮空氣源)
        振動傳感器元件 向下的地震檢波器型慣性傳感器,用于測量隔振器下方的地面振動,并提供與振動運動速度成正比的電壓
        主動反饋控制回路 在支撐隔振表面的彈簧下方測量、處理和衰減地面振動
        隔振器尺寸(寬x深x高) 14.45 x 14.26 x 6.16* in.
        367 x 362 x 157* mm
         
        * Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height.
        隔振器重量 53磅(24千克)
        工作溫度 50° - 90° F
        10° - 32° C
        儲存溫度 -40° - 130° F
        -40° - 55° C
        濕度 30 - 60%
        系統電源要求 100、120、230、240 VAC
        50/60 Hz AC; <600 W
        符合CE標準
        地面位移 <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>
        每個系統的隔振器數量 至少3個
        可選附件 層壓不銹鋼平臺、框架、立管、調平裝置、抗震裝置、提升罩


        DC-2020控制器規格

        尺寸(寬 x 深 x 高) 19 x 8.5 x 1.75英寸
        483 x 216 x 45 mm
        重量 6.3磅(2.9千克)
        處理器 150/75 MHz雙核
        采樣率 10 kHz
        模擬輸出 16個通道
        模擬輸入 16個通道
        狀態燈 單個LED
        前面板端口 1個串行USB 2.0
        1個串行Micro-USB
        1個以太網RJ-45
        2個BNC
        后面板端口 1個串行USB 2.0
        1個以太網RJ-45
        1個RS-232 DB-9傳統串行,用于傳統的STACIS 2100隔振器
        用戶界面 前面板液晶顯示屏
        超級終端上的字符菜單
        適用于Microsoft Windows的擴展GUI
        嵌入式以太網GUI

        STACIS用戶及應用領域
        1、微電子、半導體
        ? 晶片檢測
        ? 顯微光刻技術
        ? 掩膜校準
        2、科學研究、納米技術
        ? SEM、TEM
        ? STEM、SPM
        3、激光臺
        ? 生命科學、藥物研發
        4、工業應用
        ? 精密加工
         
        為什么要選擇主動系統?
        ? 從<1Hz開始強烈消除地面震動,氣動平臺在這一低頻處無法起到有效的隔振
        ? 提高質量、生產量
        ? 更加細小特色的成像能力
        ? 前沿研究
        ? 比氣動平臺更穩定
        ? 滿足SEM標準地點安裝參數的**解決方案
        ? 使得新實驗室及研究設備的工程造價更低
         
        主動系統為何選擇STACIS
        ? 正中了科研者的的心聲,提供了盡可能**的無震環境。
        ? 市場上**強勁的低頻隔振系統。
        ? 目前所有的SEM廠商都公布了安裝參數要求,其需要的震動參數需要主動隔振系統才能滿足。
        ? STACIS**發明于1990s,經TMC進一步發展,開發和安裝了數以千計的主動隔振系統,這是主動隔振控制領域的提供的可靠解決方案。
         
        STACIS相比氣動隔離器剛性大幾百
        穩定時間作為對擾動的響應,由于獨特的串聯式設計,而大大縮短,理想應用于機械制造、動態負載、激光或者光源需要安裝的獨立剛性臺面的情況下。
         
        如下優勢在業內都是**的
        ? STACIS的主動隔振帶寬為0.6Hz -150Hz
        ? 6個自由度的主動震動消除,在1Hz時隔振8-10dB 
        ? 從2-3Hz時,隔振可達90% (20dB) 
         
        專業的環境調查
        1、安裝前后的環境調查,包括震動、磁場、聲波
        2、安裝后可提供環境系統體系認證
        ? 完善的環境調查服務
        ? 開具專業環境報告
        ? 提供震動、磁場、聲波檢測及解決方案
        ? TMC基于其廣泛經驗向用戶推薦實用性方案 
        ? 40多年的行業經驗,業內的**
         
        應用照片

        備案號:京ICP備13029673號-1    京公網安備11010802012682

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